이나바타 산업은 2008년 12월 3일(수)부터 12월 5일(금)까지 3일간 치바현 마쿠하리 멧세에서 개최된 "SEMI스포츠 토토 배트맨N Japan 2008"에 참가했습니다 이번 전시회는 반도체 제조 장비 재료 분야의 세계 최대 규모의 국제 전시회 중 하나로, 올해에는 세계 각지에서 약 1,500개 기업이 참가하고 약 97,000명이 방문했습니다
　당사 부스에서는 3D 검사 장비(미타니 쇼지 비주얼 시스템부), 유기막 증착 장비(AMST), 트렌치 깊이 측정 장비(AMS) 등을 소개했습니다

기간: 2008년 12월 3일 수요일 ~ 2008년 12월 5일 금요일 10:00-17:00
장소: 마쿠하리 멧세(이나바타산업 부스: 4B-406 / 10A-501)
SEMI스포츠 토토 배트맨N JAPAN 2008 공식 사이트
http://wwwsemi스포츠 토토 배트맨njapanorg/sj-jp/indexhtm

[표시된 제품]
● 웨이퍼 공정 관련(4B-406)
・VUV 광학박막 측정장치(METROSOL)
・트렌치 깊이/CD, 에피택셜 필름 도핑 농도 측정 장치(Advanced Metrology Systems, AMS)
・금속막 측정 장치(Advanced Metrology Systems, AMS)
・매크로 검토 및 엣지 검사 장비(HSEB Dresden)
・ 관찰현미경(Carl Zeiss 광학계 탑재)(HSEB Dresden)
・마스크 정렬 장치(노광 장치)(Dainihon Kaken 스포츠 토토 배트맨, Ltd)
・스핀 코터 개발업체(과학적 가치 솔루션, SVS)
・ 반도체 제조 장비용 받침대(방진 받침대),
FAB 바닥 진동 모니터(MECAL)
・ 현장 에피택셜 필름 측정(Optical Reference Systems, ORS)
・적외선 현미경((주)디스크텍)
・유기박막 증착 장비(Applied Microstructures)
● 테스트/조립 프로세스 관련(10A-501)
・핸들러 *실기 디스플레이(SYNAX Shinano Electronics 스포츠 토토 배트맨, Ltd)
・무연 솔더용 플럭스 세정 시스템(Kaken Tech 스포츠 토토 배트맨, Ltd)
・비접촉 고속 3D 표면 형상 분석 시스템(미타니 쇼지(주) 영상 시스템 사업부)
・N2 순환정화장치(FEBACS(주))
・웨이퍼 엣지 프로파일 측정 장치(오쿠라 산업(주))

연락처:
이나바타산업(주) 전자기능재료 사업부 TEL: 03-3639-6549
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