이나바타산업전자기능재료본부는 최근 야마가타현 산업기술진흥청 스포츠 토토 사이트(*1)에 '광학박막특성측정장치 n&k 분석기'를 납품했다 본 연구소는 야마가타 대학 공과대학 키도 준지 교수의 지도 하에 유기 EL(*2)에 관한 연구를 선도하고 있으며, 국내외에서 인정을 받고 있습니다 특히, 수요 증가가 예상되는 디스플레이 업계에서 액정과 플라즈마를 대체할 수 있는 차세대 디스플레이인 유기 EL 디스플레이가 주목받고 있다는 점에 착안해 연구개발에 기여한다는 관점에서 N&K 애널라이저를 제안해 납품에 성공했다

　이번에 선보인 장비는 'n&k 분석기 1720RT'다 이 장치는 최대 400 x 500 mm의 기판 크기에 대응하며 반사율 R 및 투과율 T를 측정하는 메커니즘을 가지고 있습니다 지금까지 기존의 막 두께 측정 기술을 사용하여 ITO(*2) 및 스포츠 토토 사이트 박막을 측정하는 것은 어느 정도 가능했지만 재료 특성(굴절률 n, 소광 계수 k) 측정의 정확성에는 한계가 있다고 여겨졌습니다
　n&k Analyser 1720RT는 재료 특성을 정확하게 계산할 수 있는 고유한 물리적 모델(*3)을 사용합니다 고정밀도의 막 두께 측정 외에도 스포츠 토토 사이트 재료 등 불균일한 막 두께의 측정도 가능하며 전기적 특성과의 상관도 가능하므로 스포츠 토토 사이트 EL 연구 및 차세대 재료 식별에 기여할 수 있습니다

　n&k Analyser는 2003년 2월에 반도체 제조사 컨소시엄 "Semiconductor Technologies(Selete)"(1996년 설립, 이바라키현 츠쿠바시)에 납품된 이후, 주로 반도체 분야의 초소형, 고성능 시스템 LSI 연구개발에 기여해 왔으며, 반도체 소자 및 재료 분야에도 납품해 왔습니다 제조업체 스포츠 토토 사이트에 제품을 납품함으로써 유기EL 연구를 통한 차세대 디스플레이 연구개발에도 기여할 예정이다

※1　[야마가타현 산업기술진흥기구 스포츠 토토 사이트]
위치: 야마가타현 요네자와시
"야마가타 스포츠 토토 사이트 전자 밸리 이니셔티브"의 핵심 기관으로 2003년 11월에 문을 연 이 연구소는 스포츠 토토 사이트 EL 연구의 세계적 권위자인 야마가타 대학 공과부 키도 준지(기능성 고분자 공학과) 교수와 기타 여러 사람들에 의해 설립되었습니다 연구원, 공모를 통해 모집된 약 10명의 연구원, 현 내외 약 15개의 협력사에서 파견된 연구원들이 스포츠 토토 사이트 EL 소자의 성능 향상을 위해 스포츠 토토 사이트 태양전지, 스포츠 토토 사이트 트랜지스터, 스포츠 토토 사이트 메모리 등 스포츠 토토 사이트 반도체 소자에 대한 연구 및 제품 개발을 진행합니다

※2　[스포츠 토토 사이트EL]
스포츠 토토 사이트 EL의 기본 구조는 발광층(스포츠 토토 사이트층)이 두 전극 사이에 끼워져 있다는 것입니다 발광층은 단층부터 다층까지 다양하며, 경우에 따라 각 층의 역할이 다르다 발광층 전체가 수백 나노미터 이하로 매우 얇은 것이 특징입니다 또한, 빛이 통과할 수 있도록 한쪽에 투명 전극을 사용합니다 ITO(Indium Tin Oxide, 주석이 도핑된 산화인듐)가 대표적인 예입니다

※3　【n&k 분석기 1720RT】
400x500mm 기판 크기와 호환되는 광학 박막 특성 측정 장치
독특한 광분산 방정식(Forouhi-Bloomer 모델), 심자외선 영역에서 근적외선 영역까지의 넓은 파장대역 분광 기술, 혁신적인 광학계 요소 기술로 구성되어 있습니다 이 분석기는 파장 190~1000nm 사이의 막 두께, 광학 상수(굴절률 n 및 소광 계수 k) 스펙트럼, 에너지 밴드 갭, 계면 거칠기 등을 비접촉, 비파괴적으로 고속으로 측정합니다

또한 결정된 광학 상수의 상관 관계를 기반으로 박막의 유전 상수, 저항률과 같은 전기적 특성을 평가 및 관리할 수 있으며 고유한 응용 분야로 트렌치 깊이와 같은 미세한 치수 측정 및 포토마스크의 위상차 측정에도 사용할 수 있습니다

측정 대상은 절연막부터 스포츠 토토 사이트막, 금속박막 등 다양하며, 20A 이하의 초박막과 100μm 이상의 후막 측정도 가능하므로 반도체, FPD, 데이터 저장장치 등 박막을 사용하는 모든 종류의 디바이스에 적용 가능합니다

<참고
[n&k 기술]
n&k는 반도체, 포토마스크, 평면 패널 디스플레이, 데이터 스토리지 등을 포함한 다양한 제조 산업에 제품을 제공합니다 n&k가 제공하는 시스템은 테이블탑 모델부터 완전 자동화된 300mm 생산 도구에 이르기까지 다양한 모델을 갖춘 비용 효율적이고 사용하기 쉽습니다 이러한 시스템은 정확한 고해상도 "실제 측정"을 제공하며 필름 두께, 기판 및 구조의 거의 모든 조합을 특성화할 수 있습니다 또한 n&k 제품은 필름 증착 장비와 같은 다른 장비에 통합하는 데 적합합니다

[이나바타 산업(주)]
이나바타산업(TSE, OSE: 8098)은 IT&전자, 화학, 플라스틱, 생활환경, 식품 등 사업분야에서 항상 혁신적인 솔루션과 서비스를 제공하고 있습니다 창립이래 고도로 전문화된 지식과 노하우를 바탕으로 사업기획, 마케팅, 제조, 물류 등 다양한 요구에 대응해 왔습니다 해외 약 50개 거점의 네트워크를 활용하여 새로운 가치 창출에 힘쓰고 있습니다 IT/전자 분야에서는 액정, 반도체 관련 장비, 소재, 화학제품에 대한 토털 솔루션을 제공하고 있으며, 테스트조립그룹은 반도체 특성측정 장비를 담당하고 있습니다