US n&k 기술로 만든 300mm 웨이퍼용 선택

이나바타 산업은 미국의 반도체 측정 장비 벤처 기업인 N&K Technology(캘리포니아)가 제조한 300mm 웨이퍼용 박막 특성 측정 장치 'N&K Analyser 3300'을 주요 반도체 기업인 Semiconductor Advanced Technologies Co, Ltd(Selete, 이바라키현 츠쿠바시에 본사를 둔)에 납품한다고 30일 발표했습니다 기업들이 투자했습니다

이 분석기는 새로운 고유전율 유전체 재료를 사용한 게이트 유전체막의 두께 및 품질 스포츠 토토 배트맨을 포함한 프런트 엔드 프로세스 개발과 로우 k 층간 유전체(ILD) 재료 및 박막 배리어 금속과 관련된 백엔드 프로세스 특성 스포츠 토토 배트맨에 사용됩니다

Selete는 2004년까지 low-k ILD 재료를 사용하여 high-k 게이트 유전체 및 다층 상호 연결 구조를 갖춘 65nm 기술 노드용 장치 공정 기술을 개발하는 것을 목표로 하고 있지만 노드의 엄격한 요구 사항을 충족하는 재료 특성화 및 재료 식별 기술이 중요할 것입니다

우리는 N&K의 시스템이 게이트 및 층간 유전체에 새로운 재료를 사용할 수 있도록 하는 SELETE의 목표를 달성하는 데 도움이 될 것이라고 확신합니다라고 N&K의 사장 겸 CEO인 Dr Rahim Forouhi가 말했습니다

n&k는 박막 물성 측정장비를 제조, 판매하는 미국의 벤처기업입니다 이미 전 세계의 연구 개발 및 생산 라인에서 사용되고 있습니다 이나바타산업은 N&K의 일본 총판이며, 중국과 대만에서도 N&K 장비 판매를 위해 노력하고 있습니다

<참고
이나바타 산업(주)
이나바타산업(TSE, OSE: 8098)은 IT&전자, 화학, 플라스틱, 생활환경, 식품 등 사업분야에서 항상 혁신적인 솔루션과 서비스를 제공하고 있습니다 창립이래 고도로 전문화된 지식과 노하우를 바탕으로 사업기획, 마케팅, 제조, 물류 등 다양한 요구에 대응해 왔습니다 해외 약 50개 거점의 네트워크를 활용하여 새로운 가치 창출에 힘쓰고 있습니다
IT/전자 분야에서는 액정, 반도체 관련 장비, 소재, 화학제품에 대한 토털 솔루션을 제공하고 있으며, 테스트조립그룹은 반도체 특성스포츠 토토 배트맨장비를 담당하고 있습니다

선택
Selete는 미래 반도체 기술을 위한 첨단 기초기술을 연구하고 차세대 반도체 제조 장비 및 재료를 평가할 목적으로 1996년 설립되었습니다 셀레테는 01~007μm 시스템온칩(SoC) 설계 기술과 소자 공정 기술 개발을 목표로 하는 아스카(Asuka) 프로젝트의 원동력이다

n&k 기술
n&k는 반도체, 포토마스크, 평면 패널 디스플레이, 데이터 스토리지 등을 포함한 다양한 제조 산업에 제품을 제공합니다 n&k가 제공하는 시스템은 테이블탑 모델부터 완전 자동화된 300mm 생산 도구에 이르기까지 다양한 모델을 갖춘 비용 효율적이고 사용하기 쉽습니다 이러한 시스템은 고해상도 "실제 스포츠 토토 배트맨"을 제공하며 필름 두께, 기판 및 구조의 거의 모든 조합을 특성화할 수 있습니다 또한 n&k 제품은 필름 증착 장비와 같은 다른 장비에 통합하는 데 적합합니다

n&k 3300 분석기
n&k3300 분석기는 300mm 웨이퍼와 호환되는 완전 자동 도구로 독특한 "광 분산 방정식(Forouhi-Bloomer 모델)", 심자외선 영역에서 근적외선 영역까지의 넓은 파장 대역 분광 기술, 혁신적인 광학 시스템 요소 기술로 구성됩니다

이 분석기는 필름 두께, 파장 190~1000 nm 사이의 광학 상수(굴절률 n 및 소광 계수 k) 스펙트럼, 에너지 밴드 갭, 계면 거칠기 등을 고속, 비접촉, 비파괴 방식으로 스포츠 토토 배트맨합니다

또한 결정된 광학 상수의 상관 관계를 기반으로 박막의 유전 상수, 저항률과 같은 전기적 특성을 평가 및 관리할 수 있으며 고유한 응용 분야로 트렌치 깊이와 같은 미세한 치수 스포츠 토토 배트맨 및 포토마스크의 위상차 스포츠 토토 배트맨에도 사용할 수 있습니다

스포츠 토토 배트맨 대상은 절연막부터 유기막, 금속박막 등 다양하며, 20A 이하의 초박막과 100μm 이상의 후막 스포츠 토토 배트맨도 가능하므로 반도체, FPD, 데이터 저장장치 등 박막을 사용하는 모든 종류의 디바이스에 적용 가능합니다

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■ 이노우에 홍보
이나바타 산업 홍보 담당자: 카와바타 (akikok@inoue-prcom)
：미나미루(minamiru@inoue-prcom)
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